国内双频激光干涉仪 诊断校准导轨运动精度

SJ6000国内双频激光干涉仪具有实现线性、角度、直线度、垂直度等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等；同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度；并可以校准机床的回转轴。

功能模块

SJ6000国内双频激光干涉仪具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。

线性镜组、角度镜组、直线度镜组、平面度镜组、自动精密转台

测量机床直线度

测量机床回转轴精度

测量机床偏摆角度

SJ6000激光干涉仪以激光干涉技术为核心，分辨率可达纳米级；采用高精度环境补偿模块，解决温度、空气压力、相对湿度、材料温度等环境因素对测量结果的影响；使用激光热稳频控制系统，保证激光长期稳频精度；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热变形，保证干涉光路稳定。还可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，满足机床误差修正的要求。

其动态测量（位移-时间曲线、速度-时间曲线、加速度-时间曲线）及测量振幅和频率分析的功能，可进行机床振动测量与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等。内置国内外通用的标准，如国标（GB）、ISO（国际）、BS（英制）、美标、DIN（德标）、JIS（日标）等。可依据各种不同的机床标准分析处理数据，并可打印相应的曲线图和数据报告。

技术指标

配件与证书

配件

证书

SJ6000国内双频激光干涉仪采用高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，实现各种参数的高精度测量。