测量范围 :
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2×10-1~5×10-12P
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尺寸 :
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845×465×988 mm
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测量对象 :
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阀门、精密仪表、机械加工、电力
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加工定制 :
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是
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重量 :
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80KG
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品牌 :
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歌博
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类型 :
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氦质谱检漏仪
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电源 :
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220V
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工作温度 :
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0~30
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型号 :
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A100
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晶体生长在高真空的环境下进行材料催化,晶体生长,所使用真空炉需要达到E-3pa的真空度。之前设备真空度抽不上去时,是有经验的师傅在可能的泄漏点抹丙酮,观察电阻的变化来预估漏孔。这种方法有检测花费时间长,精度低,较依赖师傅的经验,无法全面检测等缺点。
采用安徽歌博科技有限公司的A100型氦质谱检漏仪,采用负压法检漏。将检漏仪与真空炉体通过波纹管连接。用氦气袋向真空炉体表面喷氦。因为炉体内外存在压差,氦气会通过漏孔进入真空炉体内部, 终被氦检仪捕捉到,如果氦检仪报警,说明此处有泄漏。这种方法具有检测精度高,灵敏度高,花费时间短等优点。
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